Modificação de Materiais por Feixe de Íons

Polímeros

  1. Aumento de Porosidade
  2. Aumento de Condutância
  3. Melhoria das Propriedades Eletrônicas
  4. Melhoria das Propriedades Óticas
  5. Aumento de Dureza

Semicondutores (óticos)
(AlGaAs, GaAs, Silício)

Materiais Fotorefrativos
(LiNbO3, LiNbO3:Fe, MgO, Sílica)

Materiais Fluorescentes

Metais
(Ti e ligas de Ti, aço inoxidável)

Litografia por Nano-Feixe

Controle Digital de Feixe de Íons